激光干涉仪的用途

        激光干涉仪可以对机床、三测机及各种定位装置进行高精度的（位置和几何）精度校正，并可完成按标准测量各项参数，如线形位置精度、重复定位精度、角度、垂直度、平面度及平行度等。其次，它还具有若干位机床厂商和用户所欢迎的选择功能，如自动螺距误差补偿（比如数控车床，加工中心等）、机床动态特性测量与评估、回转坐标分度精度标定、触发脉冲输入输出功能等。

        激光干涉仪的功能有以下几方面：

        1）  自动螺距误差补偿。该仪器不仅能自动测量机器的位置精度，而且还能通过RS232接口使计算机和数控系统实现通信，对误差进行自动补偿。它比通常的手工补偿方法节省了大量的时间，同时可最大限度地选用被测轴上的补偿点数，使机床达到最佳精度。

        2）  回转坐标精度标定。回转坐标分度精度标定可对数控转台在任意角度位置，以任意测量间隔进行自动测量及补偿，其精度±1rad。

        3）  机床动态特性测试与评估。利用RENISHAV动态特性测量与评估软件，可用干涉仪进行机床振动测试与分析（FFT）、滚珠丝杠的动态特性分析、伺服驱动系统的响应特性分析、导轨的动态特性（低速爬行）分析等，从而帮助用户对机器进行分析。

        4）  触发脉冲输入、输出功能。利用触发脉冲输入，可实现类似于激光干涉仪记录数据，从而可实现类似于激光丝杠动态精度检查仪的功能或机床传动链精度检查功能。利用触发脉冲输出，可用激光干涉仪定时或定距发出脉冲，从而实现类似于激光光刻机的功能。

        5）  可选AB正交信号输出。AB正交信号是标准光栅信号，由于RWNISHAW激光干涉仪能输出该信号，因而可将该激光干涉仪作为长度基准用于其他场合，如动态光刻等。双轴同步校准系统。在某些机器中，某一轴线运动由双驱动和双反馈系统控制（如龙门铣床和大型龙门移动的机器等）。在这种情况下，雷尼绍双轴校准软件可在一台计算机上连接并控制两个接口卡，提供了同步自动采集来那个平行轴数据的能力。从双轴上采集的数据同时显示在PLC上，并根据要求存储起来，然后分别加以分析或进行双轴误差补偿。

        6）  其他用户接口装置。可用雷尼绍公司提供的特殊接口软件，对现有某些品牌的电子水平仪或数字指示仪器的用户，配合雷尼绍激光干涉仪校准软件，实现直线度、平面度及垂直度等几何精度检测，从而节省用户投资费用。

枣庄市滕东机床有限公司

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